晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷,使处理后的晶圆达到新片的标准,实现其循环再利用,进而为企业节约大量成本。至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础,是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后,可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力,满产后年产值至少可超过6亿元。
至纯集团董事长蒋渊表示,至纯的晶圆再生业务在今年3月就已开始试生产,将于本月正式量产,企业将重研发,抓质量,立志成为国内领先的半导体工艺装备材料提供商,代表本土品牌参与国际竞争。
新站高新区党工委书记、管委会主任王连贵在致辞中指出,将继续主动为企业提供精准服务,支持企业发展,促进项目量产后尽早达产满产,推动合肥集成电路产业更加高质量发展。
近年来,合肥已成为国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一,而新站高新区则是合肥市“芯屏”产业的“主阵地”,已成为全国规模最大、技术方向最齐全的新型显示产业基地。随着合肥至微项目1期的量产,新站成为满足“晶圆再生”需求的重要基地,也为合肥市集成电路产业高质量发展注入了新的动力。